等离子体可分为高温等离子体和低温等离子体。低温等离子体是指电离度大于0.1％，且其正负电荷相等的电离气体。由于在整个体系表观温度很低，所以称为低温等离子体技术。又因为在体系中电子温度远大于离子温度，系统在宏观上处于热力学非平衡状态，所以又称为非平衡等离子体技术。而高温等离子体，电离度接近1，各种粒子温度几乎相同，体系在宏观上处于热力学平衡状态，所以又称为平衡等离子体技术，体系温度可达到上万度主要应用于受控热核反应研究方面。

 

等离子体通常采用微波辐射、射频放电、电子東照射和高电场气体击穿等方式达到等离子体态。目前，不同能量状态的等离子体广泛应用在电子、化工、医疗、食品、机械和环保等领域。这里介绍的低温等离子体是用在有机废气处理方面的应用。